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NanoXSpot微焦點測試儀，NanoXSpot焦點測試儀

產品型號：NanoXSpot
更新時間：2025-05-14

簡要描述：NanoXSpot微焦點測試儀，NanoXSpot焦點測試儀用于對光斑尺寸歐洲計量創新與研究計劃項目開發了新的NanoXSpot(NxS)測量儀，具有線組、西門子星形和孔圖，用于測量小至100納米的聚焦光斑計算機斷層掃描(CT)可以根據從物體周圍不同角度拍攝的一系列X射線圖像重建物體的體積數據集，這項技術被廣泛用于醫學中的患者診斷

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產品詳情

NanoXSpot微焦點測試儀，NanoXSpot焦點測試儀用于對光斑尺寸 <100 µm 的 X 射線管進行質量保證，根據 prEN 12453-6、prEN 12453-7 評估焦點尺寸 <100 µm 和光斑形狀

歐洲計量創新與研究計劃項目開發了新的 NanoXSpot (NxS) 測量儀，具有線組、西門子星形和孔圖，用于測量小至 100 納米的聚焦光斑

計算機斷層掃描 (CT)可以根據從物體周圍不同角度拍攝的一系列 X 射線圖像重建物體的體積數據集，這項技術被廣泛用于醫學中的患者診斷。此外，它還被用于航空航天和電子等行業的無損檢測、缺陷與內部結構的評估以及產品尺寸的驗證。這些行業對檢測分辨力的要求小至納米級。

隨著電子設備的小型化變得越來越普遍，以及隨著新技術（如電動汽車）的出現和航空工業中輕質化合物的使用，對 5微米或更小分辨力（大約人類頭發絲寬度的 1/10）的 CT 測量的需求日益增加。X 射線管的光斑尺寸直接影響到測量分辨力。但是，對于5微米以下的 X 射線管光斑尺寸，沒有的標準或測量方法。X 射線設備制造商采用自有的測量方法導致了不一致的結果。因此，研究人員正在開發基于可溯源表征的測量儀來確定光斑大小、形狀和位置的新方法，并將作為這些光斑測量的標準引入。

歐洲計量創新與研究計劃（EMPIR）項目《對光斑小至100納米的 X 射線管焦斑尺寸的測量（NanoXSpot，18NRM07）》正在開發新的標準實踐，以比目前更高的準確度水平表征 X 射線焦斑。

X 射線管的質量保證 – 光斑尺寸和形狀
一段時間后，可能會觀察到 X 射線管（尤其是納米和微焦管）目標的燒毀使用量，這可能導致光斑尺寸增加。一些管制造商允許管目標旋轉。這允許改變目標上的焦點位置并提供不失真的焦點尺寸

NanoXSpot 測量儀 (NxS)

? 全新測量儀設計 NxS-1020 最終確定：

• 使用新開發的算法進行焦點測量和特性分析

• 全新焦點 CT 重建算法

? 樣品支架設計便于測量儀使用

? NxS 測量儀上的圖案組（4 個象限）：

• 不同方向的線組圖案結構，特征尺寸為 3-12 µm（Q1）

• 會聚線組圖案（Q2 和 Q3）（類似于西門子星）

• 直徑為 5 µm 至 1 mm 的孔圖案（Q4）

重新設計的 NxS-1022b 儀表

? 樣品架設計便于使用儀表

? NxS 儀表上的圖案組（4 個象限）：

• 不同方向的線組圖案結構，特征尺寸為 4-20 µm（Q1）

• 不同方向的線組圖案結構，特征尺寸為 63 µm（Q2）

• 直徑為 5 µm 至 1000 µm 的孔圖案（Q3）

• 不同方向的線組圖案結構，特征尺寸為 25-50 µm（Q4）

NanoXSpot微焦點測試儀，NanoXSpot焦點測試儀規格：

外形尺寸：10 mm x 10 mm 芯片尺寸（帶藍寶石玻璃蓋的支架：40 毫米 x 30 毫米 x 5 毫米）

材料

襯底：200 μm 厚硅

吸收器：8 μm 高的金
線寬/間距：公差：+/- 15%
圖形線寬 [μm]：4 個象限，每個象限 4 mm x 4 mm;2 個經過改進的西門子星形，具有圓孔和 5 條平行金線，線寬和間距分別為 12 μm、10 μm、8 μm、6 μm、5 μm、4 μm 和 3 μm。最小線寬：3 μm。最小孔徑：5 μm