JIMA RT RC-04分辨率測試卡 是一種用于設置和測試微焦 X 射線系統的光刻生產的測試模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率，對應于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。 不同距離的線束應用于硅載體JIMA RT RC-04分辨率測試卡 特點： 測試卡封裝在一個防護盒中
每個測試圖案由 8 條線組成，T 形布局 吸收材料：鎢，厚度>=650nm 保護膜：PET膜25μm（含粘合劑） 硅基：15 µm +/- 1 µm（厚度） 外殼尺寸：40 x 30 x 5 毫米（寬 x 高 x 深） 芯片尺寸：5 x 5 x 0.06mm（寬 x 高 x 深） 精度模式： 公差： +/- 10% 適用范圍工作溫度：10°C至70°C JIMA RT RC-04分辨率測試卡 用途：在 X 射線系統的分辨率測試。 選擇檢測器、樣品和試管之間的距離，以便獲得盡可能高的放大倍數。 現在選擇所需的 X 射線參數。 將測試圖案放置在試管前面，以便一束線條中的每條線條清晰可見。 使用機械手進行溶出度測試，使下一個最小的線束變得可見。 只要線條清晰，就繼續。 以下近似適用：焦點尺寸等于分辨率乘以 2。 JIMA RT RC-04分辨率測試的布局+封裝
產品型號：RT RC-04
更新時間：2025-05-14
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